电子级高纯气体管路

微电子、光电子和生物制药等行业对传输敏感或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都采用光亮退火（BA）、酸洗或钝化（AP）、电解抛光（EP）及真空二次溶解（VIM+VAR）产品电子级高纯气体管路。

A.电解抛光（Electro-Polished）简称EP。通过电化学抛光，可以提高表面形态及结构，使表层实际面积得到很大程度的减少。表面是一层封闭的、厚厚的氧化铬膜，能量接近合金的正常水平，同时介质数量也会降低--通常适用于电子级高纯气体。

电解抛光是利用阳极处理的方式借由电化学的原理适当地调整电压、电流、酸液组成、以及抛光时间。不但可使表面达到明亮、顺滑、洁净的效果更可提升表面的抗蚀性，故是最佳的亮化表面方法当然其成本与技术也提高。不过因为电解抛光会凸显钢管表面的原始状态所以若钢管表面有严重刮伤、孔洞。

B.光亮退火（Bright Annealing）简称BA。在加氢或真空状态高温热处理，一方面内部应力，另一方面在管道表面形成一层钝化膜，以改变形态结构，减少能量水平，但不会提高表面粗糙度--通常适用于GN2，CDA，以及非工艺的惰性气体。

钢管在抽制的过程中一定会需油脂润滑而晶粒也会因加工而变形。为了避免这个油脂残留在钢管中，除了要清洗钢管外，尚可利用高温在高温退火以消除变形时，以氩气充当炉内气氛，借由氩与钢管表面的碳氧结合燃烧进一步清洁钢管的表面，产生亮面的效果。故这种利用纯氩气退火加热并快速冷却以亮化光面的方式叫光辉退火。虽然利用此种方式来亮化表面可保钢管充分干净无任何外来污染。但这种表面的明亮度若与其他抛光方式相较机械、化学、电解会有较雾面的感觉。当然其效果也与氩气的含量与加热的次数有关。

C.酸洗或钝化（Pickled & Passivated/Chemically Polished）简称AP和CP。管道经过酸洗或钝化，不会提高表面粗糙度，但可去除表面残存的颗粒，降低能量水平，但不会减少介层数量--通常使用于工业级管道。

AP即酸洗处理， 利用硝酸与亚氟酸等酸性溶液来除去钢管的氧化层。便宜快速但容易造成晶界腐蚀且内外表面较粗糙易有悬浮杂质附着。

D.真空二次溶解洁净管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)简称V+V

为住友金属公司产品，经过真空状态下电弧条件下再次处理，提高了耐腐蚀性及表面粗糙度--通常适用在腐蚀性较强之高纯电子级气体上，如：BCL3，WF6，CL2，HBr等。

E、即机械抛光 Mechanical polishing 简称MP

常用于钢管表面的氧化层、孔洞与刮痕其亮度与效果则取决于加工方式的种类。另外机械抛光后，虽较美观但也会降低抗蚀性所以当用在腐蚀环境下需再经过钝化处理，而且钢管表面常有抛光材料残留。

F、机械拉拔(Plug draw）简称PD

以塞栓精密冷拔来提高表面粗糙度，可以提高表面结构,但不会改善形态结构、能量水平和介层数量。作为最基本的表面处理工艺，机械拉拔的粗糙度为其他表面处理工艺奠定了基础。

G、羽布抛光(Buffed Polished) 简称BP

装饰不锈钢业常用的用来提高表面光亮度的方式，尽管Ra值可能很好，但在电子显微镜下可观察到许多裂缝，实际表面积扩大，局部有分离出来的铁素体及马氏体结构。表面夹杂许多杂质，如研磨颗粒。由于使用抛光膏，许多能量被储存在原先得到凹陷中，使得介质数量也会增加。这种管道一般不允许使用在微电子、光电子及生物制药的敏感、腐蚀介质中。

H、亚电化学抛光(Anodical Cleaning) 简称AC

欧洲工厂在BA基础上再进行一道表面处理工艺，即轻度电解抛光工艺，以尽可能地减少表层面积，加厚钝化膜，从而增加耐腐蚀性能、改善表面的形态结构、减少能量水平。经过这种表面处理方式之后的产品虽然没有前面的光亮，但表面质量有了很大的提高，不会产生颗粒，减少表层铁和氧化铁的成分。